电子气体的发展现状

电子气在IC产业中的重要性, 以及我国尖端技术的牵制作用, 已经引起我国高层主管部门的高度重视, 因此, 从国家“十五”“863”等多个资金渠道, 已开始对国产电子气体的研究及产业化生产提供了资金扶持, 所以笔者认为随着我国IC产业向纵深方向发展。

我国民营企业逐渐做大、做强, 在未来几年中我国电子气发展徘徊的局面将会打破, 受IC 产业的极大牵动, 一大批技术比较成熟的电子气体如NH3、N2O、Cl2、BF3、SF6 ，甚至PH3、B2H6等电子气品种, 将采用国内外先进的设备、仪控配套进行批量化、产业化的发展。

此外, 世界上电子气制造厂也将盯住我国IC产业的巨大市场, 届时竞争将加剧, 由于IC产业发展速度日新月异, 电子气无疑要“粮草未动、兵马先行”, 为适应电子气体发展的急需, 我国各专业研究院所、大专院校, 也将在电子气的研发上有所突破, 在落后的一些气体品种上进行实用化研究, 以期在合成、纯化等方面有所创新, 终实现我国电子气体产业化生产的目标。

总之, 我国电子气体经过三十余年的发展, 尽管在“九五”期间国家在此方面没有投入, 但我国电子气在某些品种已在市场的竞争中占有一定的优势, 这对平衡国际电子气体在我国的价格起了重要作用, 随着我国IC产业的发展, 我国电子气体将有所突破, 市场占有率也必将不断提高。